電子潔凈廠房凈化工程是一項復(fù)雜而精細的系統(tǒng)工程，旨在為電子器件生產(chǎn)提供一個潔凈、穩(wěn)定和安全的工作環(huán)境，以下將從設(shè)計、施工、驗收、運維等維度對其進行詳細介紹：
前期規(guī)劃與設(shè)計
- 需求分析：根據(jù)生產(chǎn)的電子產(chǎn)品特性，如半導(dǎo)體芯片、液晶面板等，確定所需的潔凈等級。國際標準化組織（ISO）標準中，潔凈室等級從 ISO 1（最高潔凈度）到 ISO 8（最低潔凈度）不等3。
- 設(shè)計布局
- 功能分區(qū)：合理劃分核心生產(chǎn)區(qū)、輔助生產(chǎn)區(qū)、倉儲與物流區(qū)、人員凈化區(qū)等，不同區(qū)域有不同的潔凈度要求和氣流組織形式1。
- 流線設(shè)計：考慮人流、物流、氣流的方向和控制，避免交叉污染，同時確保生產(chǎn)效率和維護空間，還要設(shè)置緊急疏散通道3。
工程施工
- 結(jié)構(gòu)與圍護系統(tǒng)構(gòu)建3
- 地面處理：進行地面平整、防靜電處理及必要的防水處理，鋪設(shè)環(huán)氧樹脂自流平或 PVC 卷材地板，不僅耐磨、防靜電，還能有效減少灰塵積聚。
- 隔墻與天花板：采用輕鋼龍骨 + 無塵板（如彩鋼板、巖棉板）構(gòu)造，確保密閉性同時便于清潔，天花板設(shè)計時需考慮安裝高效過濾器（HEPA）的位置。
- 空調(diào)凈化系統(tǒng)安裝1
- 空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計：采用集中式或分散式 HVAC 系統(tǒng)，確保室內(nèi)溫濕度穩(wěn)定并維持正壓狀態(tài)，防止外界污染物侵入。
- 過濾系統(tǒng)設(shè)置：設(shè)置初效、中效、高效三級過濾系統(tǒng)，高效過濾器（HEPA）通常位于送風(fēng)口，能有效過濾掉 0.3μm 以上的微粒，保證空氣潔凈度。
- 氣流組織規(guī)劃：通過 CFD（計算流體動力學(xué)）模擬優(yōu)化氣流分布，實現(xiàn)單向流或非單向流氣流模式，以滿足不同區(qū)域的潔凈需求。
- 電氣與弱電系統(tǒng)配置3
- 電氣系統(tǒng)：包括照明、插座、應(yīng)急電源等，應(yīng)選用防爆、防塵型設(shè)備，確保安全可靠。
- 弱電系統(tǒng)：涵蓋監(jiān)控、通訊、自動化控制系統(tǒng)等，需布線隱蔽且易于維護，同時考慮 EMC（電磁兼容）設(shè)計，防止干擾。
- 水電氣管路與排風(fēng)系統(tǒng)安裝3
- 管路布局：純水、排水、氣體管道等應(yīng)采取隱蔽安裝，避免交叉污染，并設(shè)置必要的凈化處理設(shè)施。
- 排風(fēng)與廢氣處理：針對特定工藝產(chǎn)生的廢氣，需設(shè)置專門的排風(fēng)系統(tǒng)及凈化裝置，確保排放達標。
驗收
- 性能測試：邀請第三方檢測機構(gòu)進行潔凈度、溫濕度、壓差等性能測試，確保達到設(shè)計標準3。
- 系統(tǒng)調(diào)試：對凈化工程的各個系統(tǒng)，如空調(diào)凈化系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)、自控系統(tǒng)等進行聯(lián)合調(diào)試，確保各系統(tǒng)之間協(xié)調(diào)運行，滿足電子潔凈廠房的使用要求。
運維管理
- 日常維護：制定嚴格的維護計劃，包括過濾器的定期更換、設(shè)備的清潔與保養(yǎng)、地面的清潔等1。
- 人員管理：對進入潔凈廠房的人員進行嚴格的培訓(xùn)和管理，包括更衣程序、操作規(guī)范等，確保人員行為不會對潔凈環(huán)境造成污染4。
- 持續(xù)改進：建立環(huán)境參數(shù)歷史數(shù)據(jù)庫，通過大數(shù)據(jù)分析優(yōu)化控制策略，定期評估新技術(shù)的適用性，逐步引入以提升車間性能1。