潔凈度檢測方法與關(guān)鍵控制指標
核心檢測方法
- 懸浮粒子計數(shù)法：通過激光粒子計數(shù)器直接測量不同粒徑粒子濃度，是電子行業(yè)最常用方法。
- 微生物采樣法：針對醫(yī)藥、食品等領(lǐng)域，通過培養(yǎng)皿沉降或空氣采樣器收集微生物并計數(shù)。
- 綜合指標法：結(jié)合溫濕度、壓差、風速等參數(shù)，如十萬級車間要求≥0.5μm粒子≤350萬個/m³，浮游菌≤500個/m³。
關(guān)鍵控制指標
- 壓差：不同潔凈等級車間之間壓差≥5Pa，潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)≥10Pa。
- 溫濕度：電子廠房通常控制溫度波動±1～2℃，濕度波動±5%～10%，鋰電池干區(qū)需嚴格控制露點。
- 照度：生產(chǎn)區(qū)照度≥300Lx，輔助區(qū)200～300Lx。
不同行業(yè)潔凈度應(yīng)用差異
- 電子行業(yè)：側(cè)重粒子控制，如TFT-LCD、半導(dǎo)體需4～5級高潔凈環(huán)境。
- 醫(yī)藥行業(yè)：強調(diào)微生物控制，A級區(qū)需無菌環(huán)境。
- 食品行業(yè)：關(guān)注交叉污染，潔凈度等級多為10萬級～萬級[[5]]。